Để hoàn thành quá trình đánh bóng, chúng ta phải thực hiện cấu hình cơ bản. Ngoài việc chuẩn bị máy đánh bóng, chúng ta cũng nên chuẩn bị miếng đánh bóng. Có nhiều phân loại của miếng đánh bóng, các vật liệu khác nhau và mỗi loại có điểm mạnh của nó. Chúng có thể được sử dụng trong đánh bóng

Hiện tại, đánh bóng cơ học hóa học được sử dụng rộng rãi trong chế biến phẳng xen kẽ của tấm pubsrate và dây đa lớp. Bàn đánh bóng là một phần quan trọng của hệ thống đánh bóng cơ học hóa học (CMP). Nó có chức năng lưu trữ chất lỏng đánh bóng và vận chuyển

Miếng đánh bóng cũng được gọi là da đánh bóng, vải đánh bóng, miếng đánh bóng, và là các vật liệu phụ trợ quan trọng xác định chất lượng bề mặt trong đánh bóng cơ học hóa học. Miếng đệm có thể được chia thành miếng đánh bóng mài mòn và miếng đánh bóng không mài mòn theo liệu