Ứng dụng đánh bóng Pad trong đánh bóng cơ học hóa học

Miếng đánh bóng cũng được gọi là da đánh bóng, vải đánh bóng, miếng đánh bóng, và là vật liệu phụ trợ quan trọng xác định chất lượng bề mặt trong đánh bóng cơ học hóa học.

Miếng đánh bóng có thể được chia thành miếng đánh bóng mài mòn và miếng đánh bóng không mài mòn theo liệu chúng có chứa chất mài mòn; Theo các vật liệu khác nhau, chúng có thể được chia thành miếng đánh bóng polyurethane, miếng đánh bóng không dệt, và miếng đánh bóng composite; Theo các cấu trúc bề mặt khác nhau, chúng có thể được chia thành loại phẳng, loại lưới và loại đường xoắn ốc.

Đây là danh sách nội dung:

l Vai trò của miếng đệm đánh bóng trong việc xử lý phôi trên máy mài bề mặt là gì?

Tôi có bao nhiêu cách để đánh bóng?

l ảnh hưởng đến các yếu tố của một pad đánh bóng

Vai trò của miếng đánh bóng trong việc xử lý phôi trên máy mài bề mặt là gì?

Cácđánh bóng pad.vận chuyển chất lỏng đánh bóng đến các khu vực khác nhau của miếng đánh bóng hiệu quả và đều; Pad đánh bóng xả một cách trơn tru các chất phản ứng và mảnh vụn đã được phản ứng hóa học hoàn toàn sau khi đánh bóng để đạt được hiệu quả loại bỏ;

Duy trì màng chất lỏng đánh bóng trên bề mặt của miếng đánh bóng để phản ứng hóa học hoàn toàn có thể tiến hành; Pad đánh bóng duy trì sự trơn tru của quá trình đánh bóng và bề mặt không bị biến dạng, để có được một hình thái bề mặt tốt hơn của wafer.

Có bao nhiêu cách để đánh bóng?

Có nhiều công nghệ định vị vật liệu truyền thống, như phương pháp lưu lượng nhiệt, phương pháp etch-back, phương pháp xoay kính, điện tử bao quanh phương pháp cộng hưởng, CVD áp suất thấp, lắng đọng chọn lọc, lắng đọng-etch-lắng đọng, CVD tăng cường huyết tương, v.v. Quá trình xây dựng đã được áp dụng trong sự phát triển. Bởi vì những công nghệ này thuộc về công nghệ định hình địa phương về vật liệu, để đạt được sự theo cách toàn cầu, việc sử dụng miếng đánh bóng cho công nghệ đánh bóng cơ học hóa học đã dần bắt đầu phát triển.

Pad đánh bóng là một trong những hàng tiêu dùng quan trọng quyết định khả năng đánh bóng và khả năng lan can trong quy trình CMP. Để đóng vai trò tốt hơn với chất mài mòn, miếng đánh bóng thường có tính chất cơ học nhất định và đặc điểm hấp thụ nước xốp. Lỗ có thể giúp chuyển mài mòn và cải thiện tính đồng nhất đánh bóng.

Có ba loại miếng đánh bóng cơ bản: miếng đánh bóng polyurethane, miếng đánh bóng không dệt, và miếng đánh bóng cấu trúc lông tơ.

Ảnh hưởng đến các yếu tố của một pad đánh bóng

Độ cứng: Độ cứng của miếng đánh bóng xác định khả năng duy trì độ chính xác của bề mặt; Tỷ lệ nén: Tỷ lệ nén phản ánh khả năng chống biến dạng của miếng đánh bóng; Bảo tồn: Bảo tồn Pad đánh bóng là chất lượng của chất lỏng đánh bóng được lưu trữ trên mỗi đơn vị thể tích của miếng đánh bóng ( Độ nhám: độ nhám bề mặt là mức độ không đồng đều trên bề mặt của miếng đánh bóng; Mật độ: Mật độ là mức độ nén của vật liệu pad đánh bóng;

Ngày nay, các nhà máy đánh bóng Pad đã được phát triển tốt, với một loạt các doanh số, và dần dần có xu hướng phù hợp với tiêu chuẩn quốc tế. Do đó, các nhà sản xuất khác nhau sẽ chọn các miếng đánh bóng khác nhau. Cho dù đó là một miếng đánh bóng thông thường hoặc một miếng đệm siêu đánh bóng. Pad đánh bóng được sản xuất bởiHubei Little Ant Diamond Tools CO., LTD. là sự lựa chọn tốt nhất cho một miếng đánh bóng khô.