Hiện tại, đánh bóng cơ học hóa học được sử dụng rộng rãi trong chế biến phẳng xen kẽ của tấm pubsrate và dây đa lớp. Bàn đánh bóng là một phần quan trọng của hệ thống đánh bóng cơ học hóa học (CMP). Nó có chức năng lưu trữ chất lỏng đánh bóng và vận chuyển